Cibles de pulvérisation en métal de grande pureté du zirconium Zr702

Cibles de pulvérisation en métal de grande pureté

Le zirconium est un métal actif avec une grande affinité pour l'oxygène, et l'excellente résistance à la corrosion de l'à pellicule d'oxyde détermine qu'elle peut être compétente dans les environnements corrosifs multiples.

3. Le zirconium a la bonne résistance à la corrosion en acide nitrique pas plus de 90% au-dessous de 200℃. Cependant, la sensibilité de corrosion sous tension du zirconium en acide nitrique devrait être notée.
4. le zirconium est résistant à la corrosion dans toutes les solutions de soude caustique avec même la concentration. La résistance à la corrosion dépasse le tantale, le niobium et le titane.

Applications de cible de pulvérisation de zirconium

Cibles de pulvérisation de zirconium avec la densité plus élevée possible et les plus petits possibles grosseurs du grain moyens pour l'usage en semi-conducteur, déposition en phase vapeur (CVD) et affichage physique du dépôt en phase vapeur (PVD) et applications optiques.