Aluminium titanique de cible de pulvérisation du Ti 65% d'Al 35%

Description de produit

Titane-aluminium de cible de pulvérisation

Des cibles en aluminium de pulvérisation d'alliage de titane (AlTi) sont produites par technologie de HIP et sont très utilisées dans des revêtements d'outil et des revêtements décoratifs. Comparé au processus de fonte, la cible de TiAl préparée par le processus de HIP a une structure interne microscopique plus uniforme et un plus petit grosseur du grain, qui convient pour différentes machines de pulvérisation de magnétron et machines de revêtement d'ion. Dans le processus de PVD, l'utilisateur peut obtenir un taux constant d'érosion et un grand revêtement de pureté et uniforme de la couche mince.

Selon des rapports de recherche sur le processus de fabrication des cibles titaniques d'alliage d'aluminium ici et ailleurs, les techniques principales de préparation de pulvériser le Titane-aluminium de cible incluent actuellement : méthode de chauffage à forte intensité, méthode pressante isostatique chaude d'agglomération, et méthode pressante chaude d'agglomération.

Notre Titane-aluminium de cible de pulvérisation sont dû populaire au leur :

Ductilité élevée

Conduction thermique élevée

Microstructure homogène

Niveau imbattable de la pureté matérielle

Quoi que cathodes rotatoires ou planaires de la géométrie - d'arc ou cibles planaires de pulvérisation : Nous pouvons fournir les cibles sur mesure qui sont parfaites pour votre application.

1. méthode de chauffage à forte intensité

Le chercheur 1 a inventé une méthode pour produire des cibles d'alliage de titane-aluminium par le courant à haute intensité. Cette méthode utilise un dispositif qui peut obtenir un grand courant, et l'emploie à forte intensité pour chauffer la poudre titanique et la poudre en aluminium, et applique la pression de faire l'aluminium et le titane réagissent seuls. Une cible titanique d'alliage d'aluminium est formée. La densité du produit titanique de cible d'alliage d'aluminium préparé par cette méthode est >99%, le grosseur du grain est les microns ≤100, et la pureté est >99%. La gamme de composition de la cible titanique d'alliage d'aluminium est : le contenu titanique 5% ~75% (rapport atomique), et le repos est la teneur en aluminium. Cette méthode a le coût bas et la densité élevée de produit, qui peuvent entièrement répondre aux exigences de la production industrielle à grande échelle. Cette méthode de préparation exige un dispositif qui peut obtenir le grand courant. Les électrodes positives et négatives doivent avoir des fonctions de transmission de conductivité et de pression, et devraient avoir la bonne conductivité, la dureté et la résistance au ramollissement à hautes températures, etc. Par conséquent, si elle peut avoir un grand dispositif actuel qui répond aux exigences de processus et a stable la représentation est la clé à la méthode de préparation.

2. Méthode pressante isostatique chaude d'agglomération

Le chercheur 2 a inventé une méthode de préparation de métallurgie des poudres de cible titanique d'alliage d'aluminium. Cette méthode mélange la poudre titanique et la poudre en aluminium, et puis subit le chargement de poudre et la précompression pressante isostatique froide, processus de dégazage, et les chauffe alors. Le pressing hydrostatique est formé, et finalement aggloméré et traité pour obtenir une cible titanique d'alliage d'aluminium. La cible titanique d'alliage d'aluminium préparée par cette méthode a les caractéristiques de la haute densité, aucune porosité, aucune porosité et ségrégation, la composition uniforme, et les grains en cristal fins. A préparé la densité du produit titanique de cible d'alliage d'aluminium est ≥99%, la pureté est >99%, le grosseur du grain est les microns ≤100, et la taille maximum de spécifications peut atteindre 1 000 millimètres. La gamme de composition de la cible titanique d'alliage d'aluminium est : contenu titanique 20% | 80 % (rapport atomique), et le repos est la teneur en aluminium. La méthode pressante isostatique chaude est actuellement la méthode principale pour préparer les cibles titaniques de pulvérisation d'alliage d'aluminium exigées par l'industrie de revêtement. Les produits de cible préparés par cette méthode sont denses et ont un large éventail de caractéristiques de taille néanmoins, cette méthode exige l'utilisation d'un pressing principal et équipement d'agglomération, un four de frittage pressant isostatique chaud, qui est cher, qui mène au coût élevé du produit préparé de cible, et il est difficile de favoriser l'industrialisation.

3. Méthode pressante chaude d'agglomération

Le chercheur 3 a et autres inventé un processus pressant chaud rapide d'agglomération pour les cibles titaniques d'alliage d'aluminium. Ce processus permet à la poudre en aluminium titanique d'être agglomérée sous l'action combinée de la chaleur et de la force. Le bas point de fusion de l'aluminium dans le mélange de Ti-Al est employé pour réduire l'alliage d'aluminium titanique. Les poudres sont collées ensemble pour former une cible de pulvérisation d'alliage. Le schéma de principe du pressurage chaud agglomérant est montré sur le schéma 2.

Image de Titane-aluminium de cible de pulvérisation :

La cible d'alliage préparée par cette méthode a la haute densité (≥95%), le petit grosseur du grain (microns ≤100), et la composition en uniforme. des cibles d'alliage de Titane-aluminium avec différentes compositions peuvent être préparées par ce processus. l'alliage de Titane-aluminium vise la gamme de composition est : le contenu titanique est de 25% à 75% (rapport atomique), et le repos est la teneur en aluminium. Le processus est court, coût bas, et bon enduisant l'effet, qui peut répondre aux exigences de l'industrialisation à grande échelle.

La caractéristique de ce processus est de transférer la pression par un moule rigide dans un vide ou l'atmosphère protectrice, de sorte que le matériel soit aggloméré et formé sous l'action combinée de la chaleur et de la force, et les deux étapes du pressurage à froid et de l'agglomération sont combinées dans une étape, qui peut considérablement améliorer l'efficacité de processus.

Ce processus a des conditions élevées pour l'équipement, et l'équipement principal est un four de frittage de chaud-pressing. Les cibles préparées sont principalement autour des cibles d'alliage avec un diamètre de ≤100 millimètre. En outre, ce processus est employé pour préparer des cibles d'alliage de titane-aluminium avec la teneur en aluminium élevée. Actuellement, il y a des problèmes de demolding difficile et de basse durée de vie de moule. Chaque procédé de préparation de cible consomme un ensemble de moules, qui augmente le coût de production de la cible. Par conséquent, il est nécessaire de choisir un lubrifiant approprié de moule d'améliorer la représentation de rendement et de moule. Taux d'utilisation.

Actuellement, l'agglomération chaude de presse est la technologie de préparation la plus potentielle pour les cibles titaniques de pulvérisation d'alliage d'aluminium. Cette technologie a l'efficacité de processus élevée et convient à la production industrielle. Cependant, l'utilisation de la presse chaude agglomérant pour préparer les cibles titaniques de pulvérisation d'alliage d'aluminium est difficile au demold, le problème de la basse durée de vie de moule. Chaque procédé de préparation de cible consomme un ensemble de moules, qui augmente le coût de production de la cible. Dans le processus d'agglomération de l'alliage d'aluminium titanique, le titane appartient à la phase dure avec le point de fusion élevée, et l'aluminium appartient à la phase de collage. Pendant le processus d'agglomération de la poudre d'alliage de titane-aluminium de haut-aluminium, l'aluminium de bas-fonte fond graduellement, qui peut coller les atomes titaniques ensemble et finalement former une cible d'alliage. Cependant, l'angle de mouillure du liquide en aluminium et du moule de graphite est un angle obtus, et la teneur en aluminium est l'alliage d'aluminium titanique, plus il est au demold après l'agglomération et le refroidissement pressants chauds difficile. Par conséquent, le procédé pressant chaud de préparation d'agglomération de la cible titanique d'alliage d'aluminium de haut-aluminium doit choisir un lubrifiant approprié pour améliorer le rendement et le taux d'utilisation du moule.

En outre, la température d'agglomération, le taux de chauffage, et la pression pressante chaude dans le processus pressant chaud d'agglomération ont une grande influence sur la dernières structure et performance du produit. Parmi eux, la température d'agglomération est trop haute, qui mènera à la transition à partir de la phase solide agglomérant à la phase liquide l'agglomération, faisant au point de fusion élevée la phase dure des effondrements squelettiques et gaspille la puissance et l'énergie, qui ne favorise pas réduire des coûts ; en outre, si la température d'agglomération est trop haute, elle causera la croissance des grains en cristal et l'augmentation et la croissance de la deuxième phase, qui réduira l'interprétation de revêtement de pulvérisation du matériel de cible. Si les grains en cristal de cible sont trop grands, la surface de pulvérisation sera consommée pendant la pulvérisation, et l'inégalité sur la surface de la pièce d'érosion qui apparaît sur la cible de pulvérisation augmentera, ayant pour résultat une diminution de l'uniformité de l'épaisseur de film du film formé d'alliage. Quand la puissance est grande, la fréquence de l'exercice anormal les petites augmentations d'arc, et l'éclaboussement en résultant. En même temps, comparé au substrat, la deuxième phase a l'efficacité pauvre de pulvérisation et est susceptible de rester comme saillies, qui affecteront également l'uniformité du film de pulvérisation. La température d'agglomération est si basse, qui aura comme conséquence l'agglomération inachevée et le faible densité du produit de cible. Si la vitesse de chauffage est rapide pendant le processus pressant chaud, l'efficacité de travail peut être améliorée, mais parce qu'une partie du secteur est agglomérée d'abord, la phase de collage coulera, ayant pour résultat le matériel de cible le dernier problème de composition inégale. À haute pression peut également améliorer l'efficacité, mais en même temps elle fera porter et réduire le moule sérieux la durée de vie de moule.

En résumé, l'agglomération chaude de presse est la technologie de préparation la plus potentielle pour les cibles titaniques de pulvérisation d'alliage d'aluminium. Cette technologie a l'efficacité de processus élevée et convient à la production industrielle. La préparation des cibles titaniques d'alliage d'aluminium par cette technologie exige des procès répétés et la sélection. Le lubrifiant de moule peut améliorer le taux de rendement et le taux d'utilisation du moule. En même temps, il est nécessaire d'optimiser les conditions de traitement pressantes chaudes d'agglomération (la température d'agglomération, taux de chauffage, pression pressante chaude), d'améliorer l'efficacité de production, et de réduire des coûts. Avec la croissance de revêtement de pulvérisation rapide, et la tendance de la vulgarisation progressive en Chine, la demande du marché des cibles de revêtement de pulvérisation augmente également rapidement chaque année. Par conséquent, la recherche sur la technologie de préparation des cibles titaniques d'alliage d'aluminium a l'importance pratique et les grandes perspectives d'application.